中古 TEL / TOKYO ELECTRON DRM #293607522 を販売中
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TEL （TOKYO ELECTRON） TEL/TOKYO ELECTRON DRMは、半導体およびフォトマスク産業向けに設計されたエッチング/アッシング装置です。大面積の基板を素早く正確にエッチングするための強力な自動化システムです。メインプロセスチャンバーと4つのサブチャンバーで構成されています。主要な部屋は熱くする入口および出口、排気装置、パージ・ガス機械、プロセスガス源およびサンプル輸送用具が装備されている大きい熱くするステンレス鋼のエンクロージャです。サブチャンバーは、フッ素、塩素、水素、窒素、酸素など、さまざまなプロセスガスを供給するために使用されます。ガスはそれぞれのサブチャンバーに格納され、所望のプロセスを達成するために必要な圧力と温度で実行されます。プロセスチャンバーの避難用に真空ポンプも用意されています。サンプル搬送アセットは、サンプル基板をメインチャンバーからサブチャンバーに移動するロボットアームで構成されています。このモデルには、プラズマ源も統合されています。このプラズマは、反応性イオンにエッチングされる表面を露出し、チャンバーをきれいにするために使用されます。このプラズマは、存在するイオンの密度と種類を正確に制御することによって、エッチング過程を制御するのにも役立ちます。これにより、非常に正確なプロセス制御が可能になります。さらに、プロセスが実行されている間、チャンバーが閉じたままであることを確認するために、インターロック装置が使用されます。TEL DRMシステムは非常に汎用性が高く、薄膜エッチング、ファインパターン、フィーチャー加工など、さまざまなエッチング用途に使用できます。セットアップと操作が簡単で、最小限の欠陥で優れた結果を提供することができます。このユニットは非常にエネルギー効率が高く経済的であり、短時間で高品質のエッチングを製造することができます。
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