中古 TEL / TOKYO ELECTRON Chamber for Tactras Vigus #9353006 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Chamber for Tactras Vigus Etcher/Asherは、最先端のエッチング/アッシング装置で、最小限の処理時間で優れた結果を得ることができます。そのユニークな設計には、精密かつ効率的な操作のためのデジタルモータ制御システムを備えた真空チャンバと、正確なパラメータを維持するためのクローズドループのプロセス監視ユニットが組み込まれています。このマシンには、エッチング/アッシング処理の各ステップを監視および制御する高度なプログラマブルロジックコントローラ（PLC）が装備されており、高精度のエッチング/アッシング結果を可能にします。TEL Chamber for Tactras Vigus Etcher/Asherには数多くの機能があり、市場の他のエッチング/アッシングシステムと比較してユニークな選択肢となっています。まず、クローズドループのプロセス監視ツールにより、サイクルタイムの正確な推定が可能になり、過剰処理や貴重な材料の破壊を防ぎます。第二に、その高度なPLC資産は、エッチング速度を向上させ、破損の確率を低減することにより、エッチング/アッシングプロセスの最適化を可能にします。最後に、このモデルには、プログラムベースおよびインタラクティブプログラミング、およびエッチング/アッシングパラメータのリアルタイム監視および編集など、さまざまな自動プログラミングツールが含まれます。性能面では、TACTRAS VIGUS ETCHER/ASHER用東京エレクトロンチャンバーは、最小限の歪みで厚さ12mm、 700mm角の基板をエッチング/アッシングすることができます。エッチング/アッシング処理が可能で、パテ時間が70秒と非常に低く、10nmの高エッチング/アッシング分解能により、正確で均一な結果を得ることができます。また、緊急停止スイッチ、過電流保護、バルブのドライラン保護など、さまざまな安全機能を備えています。Chamber for Tactras Vigus Etcher/Asherは、ユーザーが低コストかつ時間効率的に優れた結果を達成できる強力なエッチング/アッシングシステムです。その数多くの機能、高度なPLCユニット、およびその印象的なエッチング/アッシング性能は、信頼性と効率的なエッチング/アッシングマシンを求める人々のための優れた選択肢となります。