中古 TEL / TOKYO ELECTRON Chamber for SCCM #9204386 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Chamber for SCCMは、エッチングおよびアッシング処理用に設計された高性能エッチャー/アッシャーです。このチャンバーは、特に多層加工における半導体デバイスの製造に最適であり、幅広い用途で使用されてきました。簡単なエッチングから複雑なアッシュプロセスまで、高精度で再現性のあるプロセス制御が可能です。TEL Chamber for SCCMは、アニーリングとアッシングのためのデュアル炉システムや、正確で一貫したガスとフロー制御を提供するガスシステムを内蔵しています。このチャンバーは、効率的な粒子操作を可能にする効率的な混合システムを備えており、プロセスおよびアプリケーション要件に合わせたさまざまな機能を備えています。このチャンバーには、高度なソフトウェアスイートが組み込まれており、包括的なプロセス制御と監視が可能です。SCCM用東京エレクトロンチャンバーは、低O2ガス濃度センサや緊急停止などの安全機能も備えており、安全な運転を実現しています。さらに、このチャンバーは、気密性と漏れにくさを考慮して設計されており、安定した再現性を実現しています。このチャンバーには高度な温度制御技術が搭載されており、幅広い範囲で正確かつ均一な動作を可能にし、さまざまな材料やレシピに適しています。チャンバーパラメータ最適化パラメータを使用して操作することができ、8つのパラメータを同時に使用することができます。SCCMのための部屋はフォトマスクおよびLCDの製作からSOIおよび記憶装置の製作にいろいろな設定および適用で、使用されます。このチャンバーは、あらゆる半導体加工ラインに信頼性が高く効率的な付加物であり、高いプロセス制御精度と再現性を提供します。