中古 TEL / TOKYO ELECTRON Certas #9375198 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CERTASは、クリーンルーム環境におけるICデバイスの高精度スルーホールリソグラフィおよびエッチング用に設計された先進的なエッチング/アッシャー装置です。それは極度な正確さおよび信頼性のために設計されているフルオートリソグラフィ/エッチャー装置です。バックサイドアライメント機能と最先端の光学系により、微細な形成、ライン形成、スルーホールエッチング、コンタクトホールエッチングなどの高精度なリソグラフィーおよびエッチング処理が可能です。高度なマイクロリソグラフィーシステムにより、収率と品質の高いICデバイスに均一なパターンをエッチングして印刷することができます。この最先端の技術は、精密リソグラフィとエッチングの新しいレベルを導入し、複雑な設計でも再現性と精度を保証します。TEL Certasの安定した動作は、完全に自動化されたプロセスユニットによって保証されています。自動フィルムのローディングおよび荷を下す機械は手動処理の危険からクリーンルームの環境を保ち、さらに連続的で、安定した操作を保障します。さらに、そのプロセス制御ツールは、デバイスの設計やプロセス条件に必要な調整を簡単に処理できる自己調整機能として機能します。トーキョーエレクトロンセルタスは、加工範囲が広いため、加工の柔軟性に優れています。i-lineとKrFエキシマレーザーの両方と互換性があり、あらゆる種類のパターンを扱うように容易にプログラムすることができます。高度な光学系、高度なオートフォーカスアセット、高精度なサーボモーションコントロールの組み合わせは、最も複雑な設計でも高性能と再現性を約束します。さらに、ソフトウェア制御されたレーザースポットプロファイルは、レーザビームの最適な発射と精密なエッチングのために自動的に調整されます。Certasは、精度、品質、信頼性、安定性を約束する非常に統合された汎用性の高いエッチング/アッシャーモデルです。バックサイドアライメント、ナノ位置決め装置、高精度オプティクス、オートセンタリング、高度なプロセス制御プロトコルなどの高度な機能を組み込むことで、比類のないエッチングとリソグラフィ性能を提供します。