中古 TEL / TOKYO ELECTRON Certas #9311001 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Certasは、ウェーハ加工に使用されるエッチャー/アッシャーです。このデバイスは、パラレルプレート型の基板エッチャーであり、直径200mmまでのウェーハ処理のための光学レベルの精度を持つアッシャーです。これは、エッチングやアッシングの様々なプロセスで使用されるように設計されています。TEL Certasローテーションステージは、対称形状で加工中のウェーハをサポートするように設計されており、ウェーハに均一な応力分布を提供します。この段階の回転速度は5rpmから300rpmまで調節可能です。ステージは、最大重量5 kgの基板をサポートすることができます。このデバイスのマルチプレートエッチング/アッシュチャンバーは、合計6枚のプレートで効果的なプラズマエッチングおよびアッシングプロセスを提供するように設計されています。これにより、同じマシン内でより多様なプロセスを実行することができます。このチャンバーで生成されたプラズマは効率的にウェーハ表面に輸送され、信頼性の高いエッチング率とウェーハ洗浄を実現します。トーキョーエレクトロンセルタは、さまざまなプロセスガスを使用できるように設計されています。この機能により、標準的なエッチングおよびクリーニングプロセス、フォトレジストエッチング、誘電エッチングなど、さまざまなアプリケーションでデバイスを使用できます。標準および新規のプロセスガスの両方を使用するオプションは、オペレータがウェーハ処理から最適な結果を得るのに役立ちます。デバイスのコントロールパネルは、使いやすい機能とグラフィカルユーザーインターフェイスで、オペレータに優しいように設計されています。これにより、オペレータはプロセスのパラメータを迅速かつ正確に設定できます。このデバイスには、異常状態が検出された場合にアラームをトリガする障害検出システムも内蔵しています。これにより、処理中に発生した可能性のある問題を迅速に特定することができます。結論として、Certasは、ウェーハ処理における精度、信頼性、汎用性を提供するように設計されたエッチャー/アッシャーです。調節可能な回転速度、多層チャンバー、およびさまざまなプロセスガスを処理する能力を備えたこのデバイスは、さまざまなアプリケーションに適しています。オペレータフレンドリーなコントロールパネルと内蔵の診断システムにより、使いやすく、ユーザーはデバイスのパフォーマンスに自信を持っています。