中古 TEL / TOKYO ELECTRON Certas #9241302 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Certasは半導体業界で使用されるエッチャー/アッシャーです。このマシンは、大量の生産プロセスでウェーハをエッチングまたはアッシングする費用対効果の高い方法を提供します。TEL Certasは、一度に最大8つのウェーハをエッチングまたは灰に使用できます。これは、エッチング/アッシング処理が迅速かつ優れた結果で完了できることを意味します。このシステムはまた、省エネを提供し、さらに費用対効果の高い選択肢となります。東京エレクトロンセルタでは、ガスクロマトグラフ質量分析計(GC/MS)を使用して、処理前にウェーハ内の汚染物質を検出しています。これにより、エッチング/アッシングプロセスの品質が高水準であることが保証されます。Certasには、合金トラッピング、ライン幅の変化、エッチングされていない物質の存在、ハードエッジおよびプロセスの劣化を検出できるさまざまなセンサーが装備されています。これらはそれぞれ監視され、機械は優秀なエッチング/アッシングの結果を提供するために変数を調節できます。エッチャー/アッシャーには、ユーザーに柔軟性を提供するさまざまなツールが付属しています。「ライン消しゴム」ツールを使用してラインフリングを消去することができ「、プロセス最適化ツール」を使用すると、エッチング/アッシングプロセスを最適化できます。エッチャー/アッシャーにより、ユーザーはエッチング/アッシングプロセスを例外的に制御できます。これにより、エッチング/アッシング処理中にプロセス関連の欠陥がなく、ウェーハを迅速かつ効率的に処理できることを保証します。TEL/TOKYO ELECTRON Certas etcher/asherは、コスト効率、スピード、品質、柔軟性に優れ、大量生産プロセスに最適です。汎用性と信頼性が高く、プロセスをスムーズに実行するために必要なパフォーマンスをユーザーに提供します。
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