中古 TEL / TOKYO ELECTRON Certas WING #9240030 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Certas WINGは、高品質の半導体・化合物半導体製品を製造するために設計された精密アッシャーおよびエッチャーです。精密でクリーンなケミカルエッチングを利用し、ウェーハから材料を選択的に除去する多機能の精密エッチングです。この装置はプロセス時間が非常に短いため、基盤構造を損なうことなく、ウェーハから部品を素早く正確に取り外すことができます。TEL Certas WINGは、最高レベルのプロセス柔軟性と信頼性を備えたマルチチャンバープロセスチャンバーシステムです。このユニットは、効率的かつ再現性のあるウェーハ洗浄サイクルと、高精度な場所での均一なエッチングのための精密なガス流量制御を備えています。WINGエッチャーは、ユーザーのニーズに応じて最適化されたプロセスレシピを可能にする、大規模なユーザプログラマブル動作領域を備えています。ウイングはまた、高アスペクト比の材料の処理を可能にする調整可能なオプションのエッチング速度を備えています。WINGマシンはまた、別の不動態化プロセスの必要性を排除する不可欠な不動態化ツールを備えています。このパッシベーションは、低圧プラズマを使用して行われ、エッチングされたウェーハ全体の優れた均一性を提供します。さらに、WINGには、ビーム放出、4セクターのプロセス/エンドポイント制御、一定のフローエンドポイント制御などの高度なコンポーネントが付属しています。WINGアセットは高度に統合されており、効率的なデータ交換と通信を可能にします。このモデルは、最大4つの領域の同時通信を可能にするように設計されており、複数のプロセスを同時に監視することができます。リアルタイムデータ分析の助けを借りて組み込みのコンピュータは、プロセスの一貫性と再現性を保証します。一言で言えば、東京エレクトロンセルタスウィングは、半導体および化合物半導体製品の最高レベルの生産のために設計された、効率的で正確で信頼性の高いエッチャーです。これは、多くの代替案、高度なプロセス/エンドポイント制御機能、効率的なパッシベーション機器、並行してデータ交換と通信能力よりも高速なプロセス時間を持っています。