中古 TEL / TOKYO ELECTRON AMN-5082 #293653819 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON AMN-5082は、精密エッチングサービスを必要とするメーカーにとって、優れたプロセス性能を提供できるエッチャーです。エッチングプロセスの要件を満たすように特別に設計されたこのツールには、シンプルなハンドリング機器だけでなく、さまざまな基板サイズや材料など、さまざまな機能が搭載されています。TEL AMN-5082は、各種金属・非金属基板のエッチングが可能で、精密プロセス制御と大量生産が可能です。このツールのエッチングシステムは、高度なターンテーブル、真空ベースプレート、レジストクエンチングユニット、およびクーラントミスト制御で構成されています。ターンテーブルは高精度のスチールベアリングで構成されており、一貫した高品質のエッチングプロファイルを生成し、低真空ベースプレートは安全で信頼性の高いエッチングプロセスを保証します。TOKYO ELECTRON AMN-5082は、基質酸化の発生を最小限に抑え、過剰なエッチングにも耐えるレジスト焼入機を搭載しています。これは、指定された間隔で化学薬品をチャンバーに放出することによって達成されます。これは、アプリケーション要件に応じて調整することができ、目標エッチング率がいつでも達成されるようにします。さらに、クーラントミスト制御機能により、冷却温度を効果的に制御し、エッチング工程での汚染を防ぎます。AMN-5082はまた、そのハンドリングツールの観点から様々な利点を提供します。エッチャーは、3軸モーター・フィードバック・アセットを使用して、異なる基板および基板サイズに対応するように位置を自動的に調整できます。これは、ツールが均一性を確保するためにその動きを簡単に調整できるため、複数の基板を一緒にエッチングする必要がある場合に特に便利です。さらに、エッチングプロセスを自動的に同期するようにプログラムすることで、時間を節約し、エラーを減らすことができます。全体的に、TEL/TOKYO ELECTRON AMN-5082は、さまざまな材料において信頼性の高いエッチング機能を提供する丸みのあるエッチングです。TEL AMN-5082は、各種基板、自動ハンドリングモデル、高度なレジスト焼入・冷却ミスト制御機能に対応し、精密エッチングサービスを必要とするメーカーにとって有効な選択肢です。
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