中古 TEL / TOKYO ELECTRON 8500PE #9195648 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON 8500PEは、半導体デバイスの高精度プロセスやその他の研究開発用途に使用される、高度なプラズマエッチャーです。これは、非常に高い精度と制御で精密かつ再現性のあるエッチング動作を実現することができるプラズマ強化反応チャンバーを備えたデュアルチャンバー平行プレートシステムです。TEL 8500PEは、インタラクティブグラフィックスと自動過圧、温度、圧力制御を備えた内蔵コントローラを含む高度なデジタル制御技術を利用しています。これにより、エッチャーのプロセスを正確に制御および実行でき、所望のエッチング性能を確実に達成できます。東京電子8500PEは、高いイオンエネルギーと電力密度を備えており、エッチング結果を最大限に引き出すことができます。エッチングガス、素材、エッチングマスクを多層に使用することで、精密かつ再現性の高いエッチングプロセスを実現します。8500PEはソフトランディング技術を統合しており、1回のサイクルで複数のエッチングプロセスを可能にするため、プロセスの効率を高めるのに役立ちます。また、TEL/TOKYO ELECTRON 8500PEでは、温度・圧力制御や過圧制御などのエッチング工程を精密かつ再現可能に診断・制御します。TEL 8500PEモデルの機械設計および人間工学的構造はそれに優秀な振動減衰機能を与え、機械はあらゆる温度レベルで最高の効率そして正確さを提供するように設計されています。また、東京エレクトロン8500PEのクローズドループデジタルコントロールは、安全性とメンテナンスの容易さを維持しながら、最適なエッチング性能を保証します。要約すると、8500PEは、半導体デバイスを製造するための卓越した精度と精度を備えた最先端のプラズマエッチャーです。高度なデジタル制御技術、高出力密度、ソフトランディング技術により、非常に汎用性が高く、信頼性が高く、メンテナンスが容易です。その人間工学に基づいたデザインは、振動を減衰させるだけでなく、ユーザーフレンドリーで非常に効率的です。