中古 TEL / TOKYO ELECTRON 8500PE #9158331 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON 8500PEは、半導体チップ製造に使用されるエッチャー/アッシャーです。レジスト薄型化、浅いトレンチ絶縁（STI）、金属電極形成、浅いトレンチ接触（STC）、誘電体エッチングなど、幅広い用途向けに設計されています。TEL 8500PEは、Parallel Electron Analogue （PEA）技術を活用した強力なエッチャー/アッシャーです。これにより、基板表面に高いイオン数の密度と均一なプラズマ分布を持つハイエッチング均一性を生成することができます。PEA技術は、プロセスの不均一性を最小限に抑え、指向性と非指向性の両方のエッチングを使用して重要なエッチング工程に高いアスペクト比を提供します。TOKYO ELECTRON 8500PEは、幅広い基板サイズと形状を提供する柔軟性の高いプロセスチャンバーを備えています。さらに、内部ウェーハステージをさまざまな位置に移動してプロセス能力と制御を向上させることができます。8500PEは複数のガスを同時または独立して動作させることができ、さまざまなエッチング用途に適しています。ガスの流れは統合されたガスの流れシステムと正確に制御されます。TEL/TOKYO ELECTRON 8500PEのエッチングプロセス制御は、ユーザーフレンドリーでプロセス間の製品変更に最適化されたタッチスクリーンユーザーインターフェースで管理されています。TEL 8500PEには、リアルタイムでエッチング条件を微調整するなどの高度な制御機能や、さまざまなアプリケーションやプロセスのさまざまなレシピが搭載されています。さらに、Etch Data Baseはユーザー定義のレシピとプロセスを保存して、便利なリコールとエッチングプロセスを合理化します。TOKYO ELECTRON 8500PEは、高度な診断システムとインターロック制御を備え、プロセスの故障を検出および最小限に抑え、高いプロセス信頼性を確保します。また、優れた冷却と圧力安定性を備え、より均一なエッチプロファイルを可能にします。全体として、8500PEは幅広い半導体デバイスの製造において信頼性が高く効率的なエッチャー/アッシャーです。TEL/TOKYO ELECTRON 8500PEは、高いプロセス均一性、柔軟なプロセス制御、高度な診断システムにより、優れた結果を提供するように設計されています。