中古 TEL / TOKYO ELECTRON 8500PE #9146011 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON 8500PEは、半導体生産市場のニーズに対応するために特別に設計された高性能の自動エッチャーおよびアッシャーです。TEL 8500PEは、シングルチャンバーでエッチングとアッシングの両方が可能な汎用性の高い機械であり、高いスループットと高い精度で行うことができます。TOKYO ELECTRON 8500PEには、200ミリメートルのカセットと150ミリメートルの300mmのカセットを収納できる2つのウエハカセットが装備されています。ウェーハカセットは装置室に積み込まれ、ウェーハは統合されたハンドリングロボットを介してエッチングまたはアッシングモジュールに転送されます。このロボットには、エッチングまたはアッシングモジュールとの間でウェーハを正確に転送するためのビジョンおよびエンドエフェクタシステムも含まれています。エッチングおよび/またはアッシングプロセスは、高度なコントローラーシステムを介して監視および制御されます。このコントローラーユニットは使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、プロセスのリアルタイム監視と制御を可能にします。また、さまざまなプロセスレシピと追跡機能を備えているため、オペレータは生産プロセスを迅速かつ簡単に設定および維持できます。8500PEは、さまざまなエッチングおよびアッシングツールとガスを備えており、幅広いプロセス機能を提供します。また、高度な排ガス回収機を搭載しており、プロセスガスの最大99％を回収することで環境負荷を低減できます。最後に、TEL/TOKYO ELECTRON 8500PEは、シリコン、ヒ素ガリウムなど様々なウエハを扱うことができます。また、複数の加熱ゾーンを備えており、プロセス温度の範囲を可能にし、最大300mmのサイズのウェーハを収容することができます。全体として、TEL 8500PEは堅牢でパワフルな自動エッチャーであり、半導体製造市場向けに特別に設計されています。高度なコントローラツール、プロセスの汎用性、環境への配慮により、最新の半導体生産ニーズに対応します。