中古 TEL / TOKYO ELECTRON 8500PE #9113041 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON 8500PEは、エッチング工程での正確な制御と精密パターニングを実現するエッチャーおよびプラズマアッシャー機です。3軸CNCモーションコントロールシステムを搭載したTEL 8500PEは、幅広いサンプルサイズで高品質な結果を提供するために特別に設計されています。東京電子8500PEは、フォトレジストと陽極エッチー技術を組み合わせた陽極酸化エッチングパターンを製造しています。8500PEは、+/-0。02 mmからの均等性で、より大きなサイズのウェーハの5 µmまでの精度の繰り返し精度をサポートします。これにより、最も精密なデバイスや基板でも一貫したエッチング結果が得られます。TEL/TOKYO ELECTRON 8500PEは、高周波容量カップリング、独立してセグメント化されたRF誘導、またはプラズマ源の電源制御のためのPECVD（プラズマ強化化学蒸着）制御のいずれかの組み合わせに依存しています。さらにUFD（均一性と特徴密度）制御のために、TEL 8500PEは同時バイアスと基板バイアスリソースを使用することもできます。TOKYO ELECTRON 8500PEは超低粒子荷重を誇り、最大12CFM（毎分立方フィート）の排気速度を実現しています。エッチングチャンバーによって達成される最低温度は約10°Cであり、さまざまな基板およびアプリケーションに柔軟かつ効率的な動作を提供します。8500PEは、いくつかの安全機能を誇る、簡単かつ安全な操作のために設計されています。TEL/TOKYO ELECTRON 8500PEは、観測用真空ポートに加え、遠隔からのプロセスパラメータの監視・調整が可能なリモートアクセスコンソールを備えています。全体として、TEL 8500PEは精密エッチングおよびプラズマアッシングプロセスに最適です。そのシングルウェーハ互換性、3軸CNCモーションコントロールシステム、および可変バイアスおよび基板バイアス機能は、真に包括的なエッチング機能を提供します。さらに、東京エレクトロン8500PEの強化された安全機能により、動作中の最適なセキュリティと保護が保証されます。