中古 TEL / TOKYO ELECTRON 8500PE #293760303 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON 8500PEは、半導体などの微細加工プロセス向けに設計されたエッチャー/アッシャーです。ICP-RIE （Reactive Ion Etching）システムと同様の先進的なICP （Inductively Copled Plasma）ソースをベースにしており、ウェットおよびドライクリーニングの両方を利用しています。TEL 8500PEは、シリコン、石英、ポリシリコンから金、銅まで、材料のクリーニングとエッチングの両方に使用できます。それは処理する前にきれいで、汚染のない表面を保障するために基質を最初にきれいにすることによって働きます。洗浄には、酸素を添加したアルゴンガスストリームを使用し、プログラム可能なRFパワーを持つICPソースを生成する東京エレクトロン8500PE。この高いイオン化プラズマは、より均一な材料除去でより短い時間でウェーハをきれいにすることができます。さらに、8500PEは専用のドライエッチングプロセス機能も備えています。ドライエッチモードは、エッチングされる材料の種類に特別に調整された塩素ガスストリームを追加して、洗浄プロセスと同じICPソースを使用します。TEL/TOKYO ELECTRON 8500PEは、この強化されたRFソースにより、複数のウエハにわたって一貫したエッチング速度と均一性を維持することができます。TEL 8500PEはTEL Contolソフトウェアパッケージと統合されており、さまざまなエッチングレシピをプログラムすることができます。ソフトウェアを使用すると、ユーザーはプロセス時間、ガスの流れ、ICPパラメータ、およびウェーハ温度を含むすべての設定を制御できます。また、LAN（ローカルエリアネットワーク）内の他の機器にも東京電子8500PEを接続することができます。これにより、外部データベースや他のコンピュータと同様に、複数の8500PEs間のデータ転送が可能になります。8500PEは10年以上にわたって利用でき、現在では半導体および微細加工産業で広く使用されており、経済的で信頼性の高いエッチングおよびクリーニングプロセスを提供しています。TEL/TOKYO ELECTRON 8500PEは、スタンドアロンシステムでも、より大規模なプロセスマシンでも、現代のマイクロファブリケーションに欠かせないツールです。