中古 TEL / TOKYO ELECTRON 580 LC #62133 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON 580 LC Asherは、多種多様なプロセスに適用するためのエッチングやアッシングフィルムなどの薄型サンプル用の中型機器です。酸素または他のガスを使用して敏感なフィルムなどの製品をエッチングするガス源エッチャーです。革新的なシステムは、約11リットルのボリュームを提供し、円形のサンプル設計を備えています。これにより、ナノインプリントリソグラフィ（NIL）やその他の薄膜、パターニング用途など、さまざまな用途に最適です。このユニットは垂直構造で設計されており、サーマルサイクリング時間を増やすための薄いトップカバーと、より大きな機械的安定性をサポートするための厚いボトムカバーを備えています。この機械はまた、上部チャンバーの高速ガス流量を利用し、下部チャンバーの低圧レベルで設計されています。この組み合わせは、低圧と高速ガス環境を提供し、フィルムやその他の薄いサンプルの迅速なエッチングを提供します。エッチャー/アッシャーには、フィルムまたは類似製品のエッチング/アッシング処理を監視および制御するための統合ディスプレイが装備されています。これには、圧力、温度、電流などの詳細を含む、プロセスの時間依存プロファイルを示すLCDディスプレイが含まれます。このツールはまた、データのエクスポートと分析を容易にするために、コンピュータなどのさまざまな外部デバイスと統合します。さらに、この資産には、アラームやLEDインジケータなどのさまざまな安全機能が付属しており、エッチング処理に関連する潜在的な問題をオペレータに通知します。TEL 580 LC Asherは、さまざまな薄膜または類似製品をエッチングまたはアッシングするための信頼性の高い汎用性の高いモデルです。ナノインプリントリソグラフィ（NIL）やパターニングなど、幅広い用途に使用できる安全で効率的で高精度な装置です。このシステムは、実験室と生産環境の両方に適しており、精度と信頼性を必要とするプロジェクトに最適です。