中古 TEL / TOKYO ELECTRON 480 HG #293818880 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON 480 HGは、さまざまな半導体製造プロセスで使用される次世代エッチャー/アッシャーです。TEL Limited（東京エレクトロン）の200mmサーマルエッチング/アッシング装置で、先端半導体装置の世界的リーダーです。TEL/TOKYO ELECTRONは、自動化されたウェーハ処理や直感的なユーザーインターフェースなどの高度な技術を搭載し、大量生産のニーズに対応し、半導体製造に欠かせない精密なプロセス歩留まりを実現します。TOKYO ELECTRON 480 HGの高度な機能は、エッチングとアッシング操作を比類のないコントロールでユーザーに提供します。システムにはモジュラーユニット構造と幅広いプロセスモジュールが装備されており、ユーザーは特定のプロセスやアプリケーションにユニットを構成することができます。モジュラー設計により、基板のプリドライ、エッチング、アッシング、ポストプロセス洗浄、クライオエッチングなど、必要な機械の機能に合わせたモジュールを柔軟に選択できます。このツールはまた、高度なTEL技術を使用して、エッチングと灰の操作を最適化します。これには、高速ウェーハオートローダ、熱処理の温度管理、プロセス制御および監視技術、および資産パフォーマンスを最適化するためのプロセスパラメータを調整する機能が含まれます。さらに、480 HGは、チャンバー内の均質なガス分布を保証する均一なプラズマ生成モデルと、熱性能を向上させるモジュール式のプラント空冷装置を備えています。これらの機能は、さまざまなソフトウェアツールと手動制御設定と組み合わせて、エッチング/アッシング操作に関連するプロセスシーケンス、プロセスパラメータ、およびその他のパラメータを正確に制御することができます。この柔軟性と制御により、ユーザーはエッチングおよびアッシング操作中に最高レベルのパフォーマンスと精度を達成できます。TEL/TOKYO ELECTRON 480 HGは、高度な半導体製造プロセスにおいて優れた性能と歩留まりを提供する高度なエッチャー/アッシャーです。モジュラー設計、高度な東京エレクトロン技術、精密な制御機能により、幅広いエッチング・アッシング操作に最適です。