中古 TEL / TOKYO ELECTRON 305DD #9389396 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON 305DDは、半導体製造業界における大量のプロセスニーズに対応したエッチャー/アッシャーです。大容量の連続フィルム搬送技術を採用し、負荷時間を短縮し、工具内で処理されるウェーハのスループットを向上させます。この305DNはデュアルチャンバー設計を備えているため、ツールを停止することなく、2つのプロセスをすばやく切り替えることができます。プロセスレシピは簡単に更新して機械に送信することができ、迅速かつ効率的な操作を保証します。エッチングチャンバーは400mmの半導体ウェーハに対応でき、アッシングチャンバーは最大300mmのウェーハを処理できます。エッチングプロセスは高精度で正確に制御できますが、アッシングプロセスには独自のRFプラズマシステムがあり、電力、持続時間、サイクルタイムを制御して一貫した結果を得ることができます。TEL 305DDには、最先端の熱拡散技術やその他の熱管理技術も搭載しており、エッチング工程における最適な性能と均一性を確保しています。安全を確保するために、このツールには、危険な粒子の放出をブロックする統合された安全画面があります。このツールの高度なオートメーション機能により、圧力、温度、RF電力、速度などの物理パラメータをプロセスアプリケーションに合わせて調整することができ、製品の故障の可能性を減らすことができます。TOKYO ELECTRON 305DDには、エッチングチャンバーに新鮮な化学物質を安定供給し、製品寿命を延ばし、メンテナンスコストを削減する注入ポンプモジュールが装備されています。最後に、ユーザーがリアルタイムでプロセスパラメータと生産パフォーマンスを監視できる監視システムが付属しています。