中古 TEL / TOKYO ELECTRON 305D #293659035 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON 305Dは、高度な半導体デバイスの製造を目的とした高度なエッチャー/アッシャー装置です。クリーンで信頼性の高いエッチングとアッシングプロセスを確保するために、非常に均一で再現性のある環境を提供します。このシステムは、マルチタレットシングルウェーハ輸送ユニット、高効率のエッチング/灰ソース、真空ポンプ機、およびコンピュータ制御ツールで構成されています。この資産は、運用コストを最小限に抑えて最大の効率を備えています。マルチタレットのシングルウェーハ搬送モデルは、最大8つのプロセスウェーハを同時に処理するために設計されており、全体の表面積が大幅に削減されています。これにより、より効率的なウェーハ輸送が可能になり、時間とエネルギー消費が減少します。高性能エッチング/アッシュソースは、効率的な処理と廃棄物の削減を実現します。また、粒子関連の問題を軽減し、汚染の可能性を最小限に抑えるように設計されています。RFプラズマ真空発生器は、エッチング/灰チャンバー全体の安定した圧力と均一なプラズマ密度を保証し、優れたエッチングとアッシング品質を実現します。洗練されたコンピューター制御装置は、システムのリモート制御とともに、迅速かつ簡単なセットアップ、スループット監視、自動バッチおよびテーブルチューニングを容易にします。また、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスが含まれており、エッチング/アッシュプロセスを最適化するためのユーザーフレンドリーなメニュー駆動グラフィックインターフェイスとリモートディスプレイを提供します。TEL 305Dは、次世代ネットワーク（Ngn）デバイスおよびマイクロエレクトロニクス回路の大量生産に使用するために設計されています。非常に均一でクリーンなエッチング/アッシュプロセスを提供し、高い信頼性とプロセス拡張性を提供し、最も要求の厳しい要件を満たすことができます。その高度な機能と安定した性能により、これらのデバイスの製造に最適なユニットです。