中古 TEL / TOKYO ELECTRON 300T #9194184 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON 300Tは、高度なデバイス製造用に設計されたエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、次世代デバイスの統合を可能にする幅広いプロセスツールと化学製品をサポートしています。プロセス互換のエッチャー、アッシャー、またはリトエッチングチャンバーを使用し、ほぼすべての環境で連続動作できます。このユニットには高度な制御およびオートメーションシステムが装備されており、お客様のニーズに合わせて最適なプロセスレシピのカスタマイズが可能です。TEL 300Tの汎用性の高いエッチングプロセスにより、中間ゲートエッチング、深い凹凸エッチング、浅いトレンチ分離エッチング、ジャンクションスペーサーエッチングなど、薄膜構造のエッチングが可能です。また、ウエハからの有機材料を完全に除去するための酸性ストリップを内蔵した高度なクリーニングモジュールもサポートしています。この機械はユーザー定義のエッチングおよびasherの調理法のためのワンドおよび電源インターフェイスのようなハードウェアの特別なセットを採用します。自動安定の高度なプロセス制御ツールにより、高精度のエッチングとアッシャー操作が可能です。TOKYO ELECTRON 300Tは、30cm （12インチ）のウェーハ取扱資産において、比類のない柔軟性と堅牢性を実現するよう設計されています。ウェハ搬送用の信頼性の高い自動搬送と、ニアフィールドHe （NH3）プラズマアッシャーバイプロダクトを備えています。NH3プラズマグローモニターモジュールは、エッチング/アッシャープロセス条件の正確な監視を可能にします。さらに、高度なプロセス制御モデルは、電源とフロープロファイルを自動的に調整して、一貫した反復可能なエッチングプロセスを保証します。この装置は、ポケットとプラグエッチング、BPSG平面化、水素アニーリングなどの超浅いジャンクション処理のために拡張可能です。また、短時間の熱処理で酸化物を含まない構造を形成することも可能です。300Tは、プロセスに応じて、Ar、 NF3、 SF6、 CCl2F2、 O2、 H2などのさまざまな化学物質と互換性があります。LINXレシピライブラリは、セットアップとテスト時間を最小限に抑えて、最適なエッチングとクリーンな条件を設定できます。このライブラリには、各プロセスに関する安全性と腐食に対する耐性に関する完全な情報も含まれています。さらに、TEMソフトウェアパッケージは、エッチング深さ、異方性、エッチング速度、エッチング性能、重大寸法の均一性など、主要なプロセスメトリックを簡単に評価できる抽出機能を提供します。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON 300Tは、高度なデバイス製造用に設計された強力で信頼性の高いエッチングおよびアッシャーシステムです。プロセスツール、ケミストリー、自動安定化機能を幅広く備えており、一貫性のある再現性のあるエッチング/アッシャー操作を保証し、最適なプロセスレシピのカスタマイズを実現します。ユニットの汎用性も、今日のデバイス製造における多くのアプリケーションに適しています。