中古 TEGAL Plasmod #9186245 を販売中

TEGAL Plasmod
ID: 9186245
Etcher 5" x 6" deep quartz chamber.
TEGAL Plasmodは、半導体、電子、光学産業向けの精密金属構造の製造用に設計された精密、金属エッチングおよびアッシング装置です。このシステムは、高度なコンピュータ制御のプラズマ技術を使用して、金属部品の表面から不要な材料を正確に除去し、さらなる処理のためのクリーンでフラットで均一な基盤を提供します。プラズモッドは、絶縁サイドウォールに取り付けられた抵抗を含む密閉された加熱チャンバーを備えています。高周波の電波は源から加熱されたチャンバーに送られ、チャンバー内の材料と反応して高温の「プラズマ」を生成します。このプラズマは金属表面を侵食し、不活性な材料の微細な層になり、さらなる応用の基盤となります。従来のエッチングプロセスとは異なり、TEGAL Plasmodは高効率で均一で再現性があります。Plasmodは、CoCr、 AlSi、 AlMg、 CuNi、 NbFeなどの幅広い金属を使用しているため、幅広い材料タイプと厚さを正確かつ迅速に処理できます。また、コンポーネントの種類、厚さ、材質に応じて速度を調整できるように、可変エッチング速度も提供しています。TEGAL Plasmodは、部品表面から残留材料を除去するために使用できるオプションのアッシングプロセスも備えています。アッシングは、成分を損傷することなく、油や酸化物などの残留物を洗浄するのに役立ちます。Plasmodは、エッチングとアッシングのプロセスを優れた制御を提供し、ユーザーが所望の結果を達成するために速度、電力、および時間パラメータを制御することができます。1分間に最大18cmのエッチングとアッシングが可能で、従来のエッチング工程に比べて生産時間を大幅に短縮できます。さらに、TEGAL Plasmodマシンは、エラーを検出して報告できる独自の自己診断モードも備えており、安全で信頼性の高い動作を保証します。全体的に、Plasmodはユーザーに信頼性が高く、効率的で、繰り返し可能なエッチングまたはアッシング処理を提供し、幅広い種類の材料と厚さを正確かつ迅速に処理できます。半導体、エレクトロニクス、光学産業に最適です。
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