中古 TEGAL Plasmod #9186244 を販売中

TEGAL Plasmodは、シリコンや化合物半導体などの幅広い材料に優れたプロセス性能を提供する高度なエッチングおよびアッシング装置です。このマシンは、最高品質のさまざまなウェーハを迅速かつ正確に処理するために設計されています。それは効果的にエッチングおよびashingプロセスを行うのに複数のガスの深さおよび圧力が付いている非常に高度の真空の部屋を使用します。このシステムは、2インチから8インチまでの幅広いウエハサイズに対応できます。また、1つのワンバッチに最大6つのウェーハを収容でき、均一な位置決めが可能です。Plasmodの自動化と安定性は、エッチングとアッシングの要件に最適な選択肢です。エッチングとアッシングのプロセスは、TEGAL Plasmodで高度に制御され、正確に監視されます。強力でプログラマブルなコントローラを備えており、プロセスの詳細な調整に使用されます。ユーザーは、エッチングと灰プロセスの時間と流量の両方を定義できます。コントローラを使用して、圧力、温度、ガス組成を監視し、完成品の最高品質を保証することもできます。Plasmodはまた、独自の圧力制御ユニットを使用して、すべてのガスレベルが適切に維持および制御されるようにします。ユーザーはまた彼らの特定の必要性および条件に機械をカスタマイズできます。これには、ガス流量、圧力、温度などのパラメータを設定する機能が含まれます。TEGAL Plasmodは非常に使いやすく、維持するように設計されています。これは、作業を迅速かつ効率的に完了させることを容易にする表面をきれいにすることが容易に含まれています。また、ツールを使用する際にユーザーや環境に害や損傷がないようにするための高度な安全機能も備えています。プラズモードエッチングとアッシング資産は、エッチングとアッシングのニーズに最高レベルの品質、精度、安定性を提供します。このモデルは研究および産業環境の両方にとって理想的で、完全で、精密な結果を用いる材料の広い範囲を提供することができます。