中古 TEGAL Plasmaline #89914 を販売中

TEGALプラズマリンは、誘電体と金属層のドライエッチングに使用されるエッチングおよびアッシャーです。高圧高温アルゴン-塩素ガス混合物を使用して、ワークピースの表面にエッチングおよびアッシャー機能を使用します。このプロセスは、浅いエッチングと深いエッチングの両方に使用できます。さらに、アッシャープロセスを使用して、局所地形を制御することもできます。プラズマリンエッチャー/アッシャーには、ドライエッチングに使用される2つのチャンバーがあります。最初のチャンバーはシャワーヘッドのプレナムであり、シャワーヘッドを介して反応チャンバーに高圧ArClガスを注入し、ガスの均一な分布を作り出します。反応チャンバーの圧力と温度は、ArClガス混合物の圧力と力によって決定されます。エッチング処理は反応室で行われます。第二のチャンバーは、エッチング工程中の圧力上昇を制御し、プロセスのさらなる制御を提供する安定化チャンバーです。TEGALのプラズマリンは圧力、温度およびガスの流れを制御できる完全に自動化されたシステムです。これは、一貫したエッチング結果と再現性を確保するのに役立ちます。システムの制御は、エッチャーと統合されたプログラマブルロジックコントローラ（PLC）を使用して行われます。これにより、プロジェクトのニーズに応じてパラメーターを簡単に変更できます。プラズマリンは浅いおよび深いエッチングの適用に適しています。エッチング処理は異方性であり、他の方向よりも速くエッチングすることを意味します。通常、エッチング速度は、フィーチャーのコーナー放射されたエッジでフラットサーフェスよりも速くなります。これにより、シャープな機能とタイトな公差を達成することができます。TEGALプラズマリンは、局所地形制御にも適しています。アッシャープロセスは、局所地形の変化を可能にするデバイスの表面から均一に材料を除去するために使用することができます。これは、平面化や、局所地形を制御する必要のあるその他の用途に役立ちます。全体として、プラズマリンは信頼性が高く堅牢なエッチャー/アッシャーであり、さまざまなエッチングおよび局所地形制御アプリケーションで一貫した反復可能な結果を提供できます。圧力、温度、反応時間などのパラメータを超える制御により、毎回最適な結果が得られます。