中古 TEGAL Plasmaline 515 #9244783 を販売中

TEGALのプラズマリン515は高度の乾燥したプラズマエッチングおよびashing装置です。酸化ケイ素、GaAs、窒化ガリウム、フォトレジストなど、幅広い材料のインライン処理を提供するように設計されています。プラズマリン515は、高解像度の高真空プラズマソースと洗練された大面積のマイクロ波プラズマソースを備えています。これは、効率的かつ生産的な方法で精密なエッチングと灰の結果を達成するために、複数のマイクロ波チャネルを利用しています。TEGALのプラズマリン515は高度のオートメーションと設計されています、自動的にプラズマパラメータを検出し、均一なエッチングおよび灰の生産を保障するために調節をすることを可能にします。その洗練された制御システムは、統合された加工ライン全体にわたって、一致したエッチングと灰を正確にエンジニアリング制御します。さらに、独立したプロセスガスコントロールを備えているため、最適なプロセス条件を達成し、迅速かつ正確に修正することができます。プラズマリン515は、ウェーハ用の複数のフォーマットと可能な限り最高のエッチング均質度をサポートすることもできます。それは優秀なエッチングの均一性を維持するのを助ける新しいPlasmaJetの技術を使用するように設計されています。また、チルテーブル基板ホルダーを備えており、エッチングパターンの均一性を向上させるのに役立ちます。TEGALプラズマリン515はモジュラー設計を備えており、必要に応じてアップグレードと拡張が可能です。これは、エッチングの前後に基板を冷却するための完全に統合された真空冷却機を利用しています。真空冷却ツールは、プロセスチャンバーの寿命を維持しながら、エッチングの均一性とプロセススループットを向上させるのに役立ちます。要約すると、プラズマリン515は高度なドライプラズマエッチャーとアッシャーであり、高精度のエッチングと灰の能力を備えた複数の材料のインライン処理を提供します。高度なオートメーション、高度な制御システム、モジュール設計を備えており、最高品質の基準を満たすことができます。