中古 TEGAL Plasmaline 415 #9239233 を販売中

TEGALプラズマリン415は、幅広い材料の垂直プロファイル制御エッチングを実現するための正確で費用対効果の高い方法を提供するために設計された最先端のエッチャー/アッシャーです。このマシンの革新的なデザインには、トップダウンとサイドツーサイドムーブメントの両方が含まれており、古い技術の多くよりも細かいフィーチャーサイズをエッチングします。プラズマリン415は、基板レベルのアンテナをパターン化し、優れたプロファイル制御を備えたスペクタクルを作成し、アンテナ構造のいくつかのサイズを生成することができます。この装置は、高度な周波数と電力制御を使用してプラズマエネルギーレベルを正確に制御し、より細かい特徴の形成を可能にします。さらに、このシステムは高精度のガス供給ユニットを備えており、プロセスガスの事前にプログラムされた混合物を適切な混合、圧力、流量でプロセスチャンバーに供給し、再現可能な結果を保証します。ガス流量、プロセスチャンバー圧力、温度はすべて正確に管理され、最適なプロセス条件を監視されます。このマシンにはユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスも装備されており、ユーザーはプロファイル、レシピ、手動制御など、マシンの操作を完全に制御できます。ソフトウェアインターフェイスは、レシピの作成とプロセスの制御を支援するだけでなく、トラブルシューティングとプロセス最適化のための一連の診断ツールとレポートも提供します。TEGALプラスマリン415は、銅、アルミニウム、ヒ素ガリウム、リン酸インジウムなどのさまざまな材料をエッチングすることができる1。6から8。2インチまでのプロセスチャンバーサイズの選択肢があります。また、高周波リモートプラズマソースとリアクティブイオンプラテンを搭載しており、特定のアプリケーションで必要とされる乾燥および湿潤（ラフ）エッチング機能を提供します。この資産は、実験室や生産環境で優れた性能を発揮し、製造清浄度の基準SEMI-S2-0208満たしたり超えたりするように設計されています。安全機能には、危険物から人員を保護するための密閉されたプロセスチャンバーと、空中粒子を捕捉するための内蔵の再循環フィルターが含まれます。全体として、プラズマリン415は、研究開発や大量生産アプリケーションに最適なエッチャー/アッシャーです。精度、信頼性の高いプロセス制御、使いやすいソフトウェア、安全機能を備えたTEGALプラズマリン415は、さまざまなアプリケーションに優れたエッチングソリューションを提供します。