中古 TEGAL Plasmaline 415 #9008684 を販売中

ID: 9008684
Asher / etcher Stripper batch loaded Barrel type plasma reactor Chamber size (mm): 125 (high), 265 (deep) For (50) 4" wafers (3) Gas channels Missing relays RF generator: 50-300 W Peak power: 1,000 W 13.56 MHz.
TEGALのプラズマリン415は現代企業の高度の製作の条件を満たすように設計されている強力で、ユーザーフレンドリーなエッチング機械です。金属表面の複雑な形状やパターンを正確かつ深いエッチングできる特許取得済みのイオン化ビーム技術を利用しています。結果は、微細な表面仕上げと高速サイクル時間を持つ超精密部品です。このマシンはモジュール式でスケーラブルなアーキテクチャを備えており、さまざまな構成が可能です。アプリケーションと生産に応じて、ユーザーは2つの標準的なプロセスオプション(熱伝達または反応イオンエッチング)を選択できます。どちらの技術も、従来のエッチング技術よりも高精度、高解像度、高いスループットを提供します。プラズマリン415は、リアルタイムでプロセスパラメータを監視および制御できるスマートコントローラを搭載しています。これにより、すべてのプロセス特性を超高速かつ正確に変調できます。統合された真空システムは安定した、反復可能な結果を保障し、統合された自動パージングシステムは汚染を避けます。TEGALプラズマリン415は主にステンレス鋼で構成されており、堅牢で対称的なプロファイルを提供します。高度な安全対策と低ノイズ出力により、多忙な生産環境に最適です。この機械は209 x 62 x 71 cmで、重量は約680kgです。プラズマリン415には、エッチング深さを監視および調整するための真空センサーも内蔵しています。完全に自動化されたマシンオペレーターインターフェイスにより、エッチングに使用可能なすべてのパラメータに簡単かつ直感的にアクセスできます。統合されたプログラムライブラリにより、プログラミングの正確さが保証され、ユーザーはマシンを迅速かつ確実にセットアップおよび操作できます。プラズマリンエッチャーは、現代の産業にとって貴重なリソースであり、詳細かつ再現性のある結果、高速な処理、かつこれまで以上に高い精度を提供します。その柔軟でユーザーフレンドリーなアーキテクチャは、高度な技術と組み合わせて、あらゆる規模のエンジニアリングおよび製造企業に最適です。
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