中古 TEGAL Plasmaline 200 #9141854 を販売中

TEGALプラズマリン200は、強力なRF発電機と大容量のロードロック装置を備えた高度で高精度なエッチャー/アッシャーです。この機械は最適な結果のエッチングのプロセスの最も広い範囲を行うために組み立てられます。プラズマリン200上のプラズマ発生器は、プラズマエネルギーレベルとガス化学の広い範囲で高温プラズマを生成します。RFジェネレータは、エッチング面におけるプラズマの分布の制御を改善するために調整することができます。これにより、プロセスの再現性と信頼性が向上します。高圧チャンバーとロードロックシステムにより、ユーザーは大きな送り速度容量を持ち、エッチングプロセスに制御可能な雰囲気を提供できます。蒸気位相エッチングにはオプションの蒸発器を追加できます。蒸発した種はエッチング室の中に運ばれ、高いレベルの制御でドライエッチング処理を行います。TEGAL Plasmaline 200の使いやすいソフトウェアは、ユーザーにプロセス開発機能を提供し、レシピの最適化を改善します。このユニットには、各エッチングプロセスのリアルタイム監視およびデータロギング機能、および複数のエッチングヘッド構成の組み込みウェーハ位置決めが装備されています。プラズマリン200の先進的な設計により、シリコン、窒化ガリウム、ヒ素ガリウムなどの幅広い材料のエッチングに適しています。機械の自動化されたスキルは、生産と測定を容易にするのに役立ちますが、高精度とプロセス再現性により、高度なプロセス開発に適しています。要するに、TEGALプラズマリン200は、強力なRFジェネレータと大容量ロードロックマシンを使用して、最適な結果で高精度エッチングを保証する強力で汎用性の高いエッチャー/アッシャーです。自動化されたプロセス制御と監視機能により、高度なプロセス開発アプリケーションでの使用に適しています。