中古 TEGAL CS980 #293754219 を販売中

TEGAL CS980は、高度な半導体およびマイクロエレクトロニクス製造プロセス向けに設計された最先端のエッチャー/アッシャー装置です。この汎用性の高いツールは、複数のプロセスモジュールを統合して、優れた精度と制御を備えた幅広いエッチングおよびアッシングアプリケーションを実現します。CS980は、高度な機能と機能を備えており、信頼性と高性能な機器を必要とする生産環境だけでなく、研究開発のための最先端の選択肢となります。TEGAL CS980は、異なるプロセスアプリケーションの特定の要件を満たす簡単なカスタマイズと拡張性を可能にするモジュール設計を備えています。システムは通常、エッチング、ストリッピング、クリーニング、または表面変更などの特定のプロセスステップに専用の複数のプロセスチャンバーで構成されます。このモジュラーレイアウトにより、効率的なプロセス統合が可能になり、複数の基板の並列処理を可能にすることで、ツールの使用率を最大化します。CS980の重要な機能の1つは、ガスフロー、圧力、電力、温度などのパラメータを正確に制御し、非常に均一で再現性の高い結果を得ることができる高度なプラズマ処理技術です。高周波RFプラズマ源を搭載し、高精度エッチングやアッシングに適した低圧プラズマ環境を実現しています。RFソースはMHz範囲の周波数で動作し、処理チャンバ全体で優れたプラズマ安定性と均一性を提供します。TEGAL CS980には、処理中のガス流量と組成物を正確に制御できる洗練されたガス搬送機が装備されています。このツールには、マスフローコントローラ、圧力レギュレータ、および処理チャンバへのプロセスガスの正確で信頼性の高い配送を保証するガスマニホールドアセンブリが含まれます。ガス供給資産は、幅広い化学薬品やプロセスレシピをサポートするように設計されており、CS980はさまざまなエッチングおよびアッシング用途に適しています。TEGAL CS980は、高度なプラズマおよびガス供給システムに加えて、処理中の基板の正確な位置決めとアライメントを保証する高精度の基板処理モデルを備えています。ロボットアーム、ウェハチャック、エンドエフェクターを搭載し、基板の自動積み下ろしや加工室内の基板の動きを正確に制御します。この自動処理システムは、人の介入を最小限に抑え、処理中の基材の損傷や汚染のリスクを低減します。CS980にはユーザーフレンドリーなインターフェイスと制御ソフトウェアも含まれており、オペレータはプロセスレシピを簡単に設定し、リアルタイムでプロセスパラメータを監視し、プロセスデータを分析して最適化とトラブルシューティングを行うことができます。ソフトウェアインターフェイスは、レシピ開発、プロセス監視、データ分析のための直感的なツールを提供し、ユーザーが最小限のトレーニングで最適なプロセス結果を簡単に達成できるようにします。TEGAL CS980は、高度なプラズマ加工技術、精密ガス供給システム、自動基板処理機能を組み合わせた高度なエッチャー/アッシャーユニットで、幅広い半導体およびマイクロエレクトロニクス製造プロセスにおいて優れた性能と信頼性を提供します。モジュール設計、高度な機能、ユーザーフレンドリーなインターフェースを備えたCS980は、半導体業界の最先端の研究および生産アプリケーションに卓越した制御と柔軟性を提供する汎用性の高いツールです。