中古 TEGAL Chamber for 415 Plasma asher #293661202 を販売中

TEGAL 415プラズマアッシャーは、幅広い湿式および乾式プラズマエッチング用途において、最高品質の再現可能な結果を提供するように設計された精密エッチャー/アッシャーです。チャンバは、スループット、再現性、およびプロセス制御を最適化するように設計されています。TEGAL 415プラズマアッシャーは、多種多様なエッチング化学製品に最適化された均一性と温度制御を提供する大容量の石英チャンバーを備えています。チャンバーの本体は、メンテナンスと補充のために迅速かつ簡単に開くことができる耐久性、軽量、陽極酸化アルミニウムで構成されています。ユーザーフレンドリーなPCディスプレイは、パラメータの簡単な設定と監視を可能にします。TEGAL 415プラズマアッシャーは、独自の統合された高度な電子ビーム活性化源を備えており、可能な限り最高品質のプラズマを生成します。これにより、高価なビルディングブロックや追加機器を使用することなく、効率的で再現性の高い結果が得られます。これは、プロセスパラメータを正確に制御するための調整可能な電源を備えています。TEGAL 415プラズマアッシャーは、調整可能なバイアス電圧、調整可能な圧力、低I/O遅延、低温で冷却されたプロセスガスラインなど、高品質の設計機能も備えています。これらの機能により、より高い品質、より多くの繰り返し精度、およびより厳しい仕様制御を提供しながら、ツールコンポーネントの寿命を延ばすことができます。TEGAL 415プラズマアッシャーは、オペレータと機器の両方を潜在的な危険から保護する複数の安全機能も提供します。例えば、チャンバーには、圧力上昇が検出された場合に動作する緊急シャットオフスイッチが含まれています。重大な問題になる前に潜在的な安全上の問題にオペレータに警告する警報システムもあります。TEGAL 415プラズマアッシャーは、さまざまなエッチング用途に簡単に設定できる柔軟性の高い設計で、さまざまな製造プロセスに最適です。幅広いエッチング機能により、このシステムはあらゆる生産ラインに最適なツールです。包括的な機能を備えたTEGAL 415プラズマアッシャーは、今日利用可能な最高のエッチングソリューションの1つです。