中古 TEGAL 981 #9267872 を販売中

TEGAL 981は、半導体およびマイクロエレクトロニクス業界で幅広く使用されているエッチャー/アッシャーです。981はフル機能の高度なエッチング/アッシング装置です。エッチングとアッシングの3段階プロセスを自動化し、最大200mmまでの複数のウエハサイズが可能です。装置の温度範囲は25°C〜200°Cで、エッチング/アッシング時間は0〜99秒です。このシステムは、ドライエッチング機能とオプションの蒸着プロセスも備えています。TEGAL 981は高度なプラズマエッチングプロセスを採用しており、さまざまなガスを柔軟に使用できます。10mtorr〜500mtorrの圧力範囲で、 、 、 、 をサポートします。これは、ポリシリコン、GaAs、窒化物などの最も困難な材料のエッチングを提供し、優れた再現性を提供します。このユニットの設計には、温度コントローラ、真空密度コントローラ（VADC）、火炎検出器、およびEtherNetベースのマシンコントローラも含まれています。温度調節器は温度を監視し、調節し、部屋の安定性を維持します。VADCはチャンバの流量を正確に制御し、一貫したエッチング速度を保証します。火炎検出器はチャンバー内の不要な点火を防ぎ、EtherNetベースのツールコントローラとユーザーインターフェイスにより、操作、監視、および診断を簡素化します。チャンバーはUltimate Load Lock （ULL）アセットを備えており、個別の負荷とアンロードドアを備えています。このモデルは内部汚染を排除し、バッチ間のウェーハの清潔さと再現性のある組成品質を保証します。圧力制御は高精度で再現性があり、圧力範囲は1 mtorr〜700 mtorrです。これにより、エッチング速度と高品質のエッチング結果を正確に制御できます。981は精密部品のエッチングとアッシングに最適なソリューションです。高度なプラズマエッチング、精密な圧力と温度制御、高スループットなどの高度な機能により、幅広い用途に最適なソリューションです。