中古 TEGAL 981 #9249070 を販売中

TEGAL 981は精密および優秀な性能のために設計されている高度のエッチャー/asher装置です。このシステムは、半導体、フラットパネルディスプレイ、MEMS、その他の電子部品など、幅広いエッチングおよびアッシング用途に使用できます。981は、優れた柔軟性と拡張性を提供することにより、高度なエッチングとアッシングのための新しい標準を設定します。TEGAL 981は、導電性シールドとシールドをウェーハホルダー、電源、マニホールドペデスタルと組み合わせて使用する電磁干渉（EMI）低減ベースプレート技術を特長としています。これにより、安全で均一なエッチングとアッシング処理が可能になり、同時にユニットのEMIシグネチャを削減できます。981はまた、さまざまなウェーハサイズと互換性のあるウェーハホルダー、手動および自動圧力制御機、および設定可能なエッチング/灰プロセスレシピを備えています。TEGAL 981は、さまざまなサイズと形状の製品を迅速かつ正確にエッチングおよびアッシングすることができます。このツールは、エッチングとアッシングのために構成可能であり、利用可能な開始と終了のエッチング/アッシングのレシピの広い範囲で。981はまた、シリコン、石英、金属合金などの異なる基板のエッチングとアッシング、および同じエッチングチャンバー内のエッチングガラスとサファイアを可能にします。TEGAL 981には、エッチングおよびアッシング機能に加えて、フォトレジスト除去および注入用のガス対応チャンバーが含まれています。このチャンバーは100mTorrなどの低圧で動作し、最大1,000ステップ/秒の速度で動作します。さらに、このアセットは、トレーニングモードとカラーグラフィカルディスプレイを備えたユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えています。981は優れた質の材料から成り、構造は汚染を防ぎ、熱集結を除去するように設計されています。このモデルはまた厳格な安全基準を満たしており、異なる国際的な安全規制に準拠しています。特許取得済みのEnergy Recovery Equipment （ERS）を搭載し、高エッチングとアッシング性能を確保しながらエネルギー消費を削減します。TEGAL 981はあらゆるエッチングおよびアッシングの適用のための優秀な選択です。優れた性能と柔軟性、およびEMIシグネチャの削減により、市場で最も先進的なエッチング/アッシングシステムの1つになります。