中古 TEGAL 980ACS #9395473 を販売中

TEGAL 980ACSは半導体加工および研究の専門家によって使用のために設計されているエッチャーおよびasherです。ウエハーを様々な用途で加工するために設計された、全自動、高速、高スループット機器です。TEGAL 980 ACSは、PCベースの制御システムと16-bit-RISC-drivenアーキテクチャを備えており、エッチング処理を高速かつ高精度に制御します。ユニットはまた、機能の広い範囲を提供します、含む：複数のプロセスレシピと高度に調整可能なパラメータ設定；レシピとパラメータ選択のためのWindows XPベースのグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）；温度、圧力および流れ制御；ロードおよびアンロードのオプション；750Wの電子レンジ発電機です。エッチャーには2つの独立したチャンバーがあり、それぞれ6インチのウェーハを保持することができます。両方のチャンバーは、他のすべてのエッチングパラメータが一定である間、受動的または積極的に規制されることができます。室温は室温から700°Cまで設定可能で、1秒あたり3°Cの速度で加熱することができます。また、980ACSは自動負荷/アンロードマシンを備えており、様々な搬送テープやウェハカセットとの互換性を考慮して設計されています。このツールは、毎分最大12枚のウェーハを処理でき、リアルタイムエッチングプロセスデータを記録および表示するためのタッチスクリーンディスプレイを備えています。アセットは三相208-VAC電力で動作し、両方のチャンバーに最大750Wの電力を供給することができます。業界で最も先進的なエッチング装置の1つとして、980 ACSは最大μ mのエッチング深度を正確に製造できるため、ディープエッチング、インプラント、フォトリソグラフィなどの用途に最適です。