中古 TEGAL 965 #293753247 を販売中

TEGAL 965エッチャー（またはアッシャー）は、半導体チップの製造に使用される高度なエッチングおよびアッシングツールです。高速で、優れた結果で大きな領域をエッチングし、アッシングすることができます。広い部分はエッチング部分とアッシング部分の2つに分かれています。機械は最高の結果のために推薦される最高の12"の5"から8"の基質を、処理できます。965は、特許取得済みのガス混合技術を使用して、高密度プラズマ（HDP）エッチングを可能にし、プラズマの均一性の向上、プラズマクリーンの高い均一性、およびウェーハの歪みの低減により、エッチング速度の高速化を可能にします。このエッチング工程では、高周波のRFプラズマを使用して素材を迅速かつ均一に除去し、エッチング時間を短縮し、ベースラインのエッチング結果を改善します。エッチング時間は、特定のアプリケーションに合わせて調整することができ、サイクル短縮と最高のスループットを可能にします。エッチングは、窒素やヘリウムなどの異なるガスを処理し、特定の望ましい結果を得る。反応イオンエッチング、酸素反応イオンエッチング、フォトレジストエッチングなど、特殊なエッチング処理が可能です。エッチャーは、ストリッピング、薄型化、エッチング後の変更などの他のプロセスも実行できます。TEGAL 965のアッシングプロセスは、酸素ベースのプラズマを使用してウェーハ表面から材料を均一に除去します。HDP ashingプロセスは高速、高い均等性および高い純度の物質的な取り外しのためにまた利用できます。このプロセスは、敏感なウェーハのための従来のアッシングプロセスより優れており、結果のより良い均一性と純度を提供します。965はウェーハの製造のための信頼でき、貴重なエッチング/ashing用具です。セットアップと操作が簡単で、その精度と速度で知られています。TEGAL 965は、プロセス結果の高品質と均一性を兼ね備え、MEMS、マイクロプロセッサ、ワイヤレス通信などのさまざまなアプリケーションに最適なツールです。最後に、フル機能の965は、エッチングとアッシングのプロセスに対する優れた制御を提供し、最適な結果も達成することができます。