中古 TEGAL 965 #293656298 を販売中

TEGAL 965は、半導体、光学、医療機器などの幅広い産業で広く使用されている先進的なプラズマエッチャーです。965はエッチング処理の多くのパラメータを制御することができ、汎用性が高い。TEGAL 965は、シリコン、アルミニウム窒化物、ヒ素ガリウムなど、さまざまな材料をエッチングすることもできます。965は、高度な8インチウェーハ加工チャンバーを備えており、機械のエッチング率を高める2径ビームラインを装備することができます。TEGAL 965には統合された完全に自動化されたプラズマソースがあり、エッチング速度の調整と制御を高速化し、プロセスの均一性と再現性を向上させます。このマシンは、さまざまなタイミングサイクルを設定し、圧力センサの読み取りを確認し、プロセスパラメータをチューニングする必要がある場合は、同じエッチングサイクルを最大5回繰り返すことさえできる優れたプロセス制御機能を備えています。965はまた市場の他のエッチャーから際立つようにする高度な機能の広い範囲を提供します。機械には、エッチング時間とエッチング速度の両方を自動制御できるマルチノズルシステムが装備されています。また、調整可能なPIEZO発振器も備えており、エッチングプロセスをより細かく制御できます。TEGAL 965は、ウェーハの高精度な位置決めを可能にする自動ウェーハマニピュレータと、エッチウェイの均一性と再現性を保証するグローバルエッチアルゴリズムも備えています。全体的に965は、高い精度と精度を必要とするプロセスにおいて優れたエッチャーです。それはそれを多目的な用具にする多くの高度の特徴を特色にし、適用の広い範囲で非常に信頼できます。エッチングプロセスを正確に制御できることは大きな利点であり、ユーザーはプロセスを非常に正確に複製することができます。TEGAL 965は、さまざまな材料をエッチングするための信頼性の高い汎用性の高いツールをお探しの方に最適です。