中古 TEGAL 915 #9244755 を販売中

TEGAL 915は、シリコンウェーハ、銅、アルミメッキ発泡基板などの基板の正確なエッチング/アッシャーを必要とする最も要求の厳しい用途向けに設計された高精度エッチング/アッシャー装置です。それは正確な、精密エッチングおよびアブレーションのための自由空間レーザーの技術および触媒化学エッチングの両方を利用します。915のレーザー源は、温度範囲全体にわたって高い精度と信頼性を持つ半導体と非半導体の両方の材料を処理することができます。レーザーは、均一で正確なレーザー空間パターンを提供するための回転ミラーと、レーザー光線の空間パターンを制御できるスキャナーヘッドを備えています。このシステムは、幅広いレーザー周波数を提供することもできます。ワイドトラックガルバノメータースキャンユニットは、レーザー出力を動的に制御するため、エッチングに必要な材料の正確な量を正確かつ正確に定義できます。TEGAL 915は、触媒化学エッチングのオプションも多数提供しています。機械は浸透の異なった深さの異なった材料の異なったetchant化学薬品を沈殿させるようにプログラムされ、制御することができます。これにより、エッチングの重要な寸法をウェーハ表面に正確に制御し、複雑なデザインやパターンを作成することができます。915は、エッチングの精度と精度に加えて、保護フードや閉じ込め安全扉、またエッチング工程で生成される危険な副産物を収集するための真空チャンバーなど、多くの安全機能を備えています。このツールには、資産とウェーハの汚染を低減する自動セルフクリーニング機能も装備されています。TEGAL 915は、最も要求の厳しいエッチングのニーズを満たすように設計された高度なエッチング/アッシャーモデルです。精度、安全性、高度な制御機能により、幅広い材料をエッチングするための高信頼性で効率的な装置です。