中古 TEGAL 915 #9220755 を販売中

TEGAL 915エッチャー/アッシャーは、半導体ウェーハの製造に使用されるコンピューター制御のエッチングおよびアッシング処理です。これは、4つの蒸着源、3つの独立した回転エッチング/アッシング電極、および自動化されたプロセスチャンバーを備えた統合炉を備えています。915は、基板の表面全体にわたってエッチングの深さと均一性を正確に制御するために、高度なOptiPulse™技術で設計されています。また、ポリシリコン、アルミニウム、ニッケル、チタンなどの薄膜材料の加工も可能です。TEGAL 915は非常に均一なエッチングとアッシングを提供するように設計されています。Enhanced LPCVD （ELPCVD）プロセスなど、さまざまな統合プロセスを使用して、エッチングの深さと均一性をグローバルに制御します。OptiPulseシステムは、エッチプロファイルを微調整するための調整可能なエッチングレート制御により、精密なエッチングの均一性と1ミクロンのレベルまでの深さを可能にします。その4つの蒸着源は、高い蒸着速度、均一性、および精密な薄膜層の厚さ制御を提供するように設計されています。専用の回転電極は、ユーザーのチャート形状に応じてエッチングパターンを正確に形成することができます。915は、最大2インチの厚さのウェーハを処理することができる大きなプロセスチャンバーが装備されています。包括的な制御ユニットにより、カスタムの自動レシピ作成とパラメータへの容易なアクセスが可能になり、ユーザーは可能な限り最良の結果を得るためにプロセスを微調整することができます。その柔軟な自動化により、迅速なプロセスシフトと効率的なスループットを実現します。その集中的なユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスは、簡単な操作とレシピリコールを可能にします。要するに、TEGAL 915エッチャー/アッシャーは、ポリシリコン、アルミニウム、ニッケル、チタンなどの薄膜材料の高速かつ均一なエッチングとアッシングを可能にするさまざまな機能を備えています。そのOptiPulseマシンは正確なエッチング深度と均一性を保証しますが、統合されたプロセスと回転する電極は、微調整されたカスタマイズと自動レシピの作成とリコールを可能にします。915は、迅速なプロセスシフト、効率的なスループット、および優れた均一性を提供するように設計されています。