中古 TEGAL 915 #9210224 を販売中

TEGAL 915は、RF MEM、フォトニクスデバイス、ナノ電子部品の製造用に設計された高精度の自動ウェーハエッチャー/アッシャーです。高精度で再現性に優れた専用機で、低コストで高いスループットを実現しています。75×75cmの広い開放チャンバーと多種多様なプロセスガス源を内蔵したガスマニホールドを使用しており、さまざまな化合物との最適なコーティング厚さと均一性を実現しています。デュアルカソード電子ビーム源は、エッチング速度が非常に均一で、エッチング時間を正確に決定し、歩留まりを最大化することができます。さらに、フロントロード/アンロード構成、直感的な制御装置、包括的な統合機能により、915は信頼性と効率的なプロセスを保証します。高度な冷却システムのおかげで、すべてのコンポーネントは低温のままです。エッチングプロセスはクリーンで安全で安定しています。クローズドループ・フィードバック技術により、エッチング結果の再現可能な精度が保証され、ユニットの信頼性も向上します。これは、定期的に動作パラメータを監視し、最適からの変動にリアルタイム調整を提供しています。さらに、堅牢な硬質保護コーティングと超クリーンな技術により、TEGAL 915はプロセスガスの漏れやエッチング結果の汚染を防止します。メンテナンスと維持管理の面では、915は低メンテナンスでユーザーフレンドリーです。自動化されたセルフチェックHMIにより、コンポーネントのステータスをユーザーに通知し、アラートにすばやくアクセスできるため、ユーザーはパフォーマンスレベルを常に把握できます。最後に、高度で包括的なテクニカルサポートチームによってサポートされ、機械の校正と完璧な作業順序を保証します。