中古 TEGAL 915 #84339 を販売中

TEGAL 915は、高精度なパターニングとイメージング機能で知られるエッチャー/アッシャーです。このツールは、ローカライズ回路パターニングのための精密焦点ビーム技術と、迅速な工具セットアップのための統合された自動ロードロックを利用しています。また、基板測定システムのオプションの適応を備えたプローブステーションおよびラミネーション装置が付属しています。915は、建設壁、調節可能なシールド、温度コントローラ、温度センサー、および真空システムを備えた専用のワークチャンバーを備えており、最適なエッチングおよびイメージング性能のための一貫した環境を維持するのに役立ちます。このツールには、4軸の動きを持つ高精度のスキャンヘッドと、フルアレイのイメージングセンサーが含まれています。また、最大26個のフルサイズウェーハまたは同等の積載能力を持つ大型真空チャンバーを備えています。3つの交換ノズル（ガス、エッチング/メチレンヨウ化物、炭素注入）を備えたフィールド交換可能なノズルシステムにより、エッチングプロセスのカスタマイズと最適化が可能です。TEGAL 915の全体的な柔軟性により、さまざまなアプリケーションやプロセスに適しています。クラスタ構成では、共通のSubstrate Transfer Chutes （STC）や'Zone'接続などの共有機能を利用して、複数のツールが連携して複雑で複雑なパターンを作成できます。915はまた、クラスの他のエッチャーと比較して、より高い精度と再現性を備えたイオン化クラスタビーム自動焦点ユニットを採用しています。基板サイズ、試料タイプと厚さ、ガス供給比、圧力範囲など、TEGAL 915の様々な設定可能なパラメータにより、エッチング工程のより大きな実験と調整が可能です。このツールは、最大の生産性と安全性のための統合された半自動洗浄サイクルでさらに強化されています。要約すると、915は最先端のイメージングおよびビーム技術、幅広い設定可能なパラメータ、柔軟なクラスタ構成、自動洗浄サイクルにより、高精度なアプリケーションに最適な高度なエッチャー/アッシャーです。TEGAL 915はオールインワンのエッチングおよびアッシング機械で、研究開発プロジェクトに関わるあらゆるラボや施設にとって非常に汎用性が高く、不可欠なツールです。