中古 TEGAL 915 #293816364 を販売中

TEGAL 915 Asherは半導体業界で使用するための高度で信頼性の高いエッチャーです。このエッチャーは、シリコンオンインシュレーター（SOI）、ガリウムヒ素（GaAs）、炭化ケイ素（SiC）など、さまざまなサイズと材料のウェハを処理することができます。従来のエッチャーとは異なり、高度なマイクロエッチング技術により、非常に低い汚染レベルで優れた品質のエッチング結果を生成します。エッチャーにはエッチングされたチャンバーが内蔵されており、フタ全体を均一に加熱することができます。これにより、エッチングプロセスが一貫しており、信頼性が保証されます。ウェーハを加熱することにより、エッチング結果が高精度で均一であることを保証します。チャンバーには、RFジェネレータと真空源も含まれており、どちらもエッチングプロセスの駆動に使用されます。915 Asherに4つの統合されたリアルタイムイメージング（RTI）カメラがあります。これらのカメラは、エッチャーがリアルタイムでエッチング処理を監視することを可能にし、オペレータにフィードバックを提供します。これにより、エッチング処理を正確かつ効率的に制御することができます。TEGAL 915 Asherは、EBSS （E-beam sensitivity selection）を統合しており、エッチャーは特定のウェハ材料に最適なレーザー感度を選択できます。これにより、エッチング処理の精度が向上し、エッチング結果が異なる材料のウェーハ間で均一であることが保証されます。また、エッチャーには自動ウェーハ処理機能も搭載しており、ウェーハを迅速かつ安全にロードおよびアンロードすることができます。エッチャーは非常に効率的で費用対効果が高いように設計されています。省エネ暖房素子、統合EBSS選択、自動ウェハハンドリングなど、運用コストを削減するために設計されたいくつかの機能があります。また、エッチャーには低温動作モードがあり、機器の摩耗を軽減し、長寿命を提供します。全体として、915 Asherは半導体産業で使用するための効率的で信頼性の高いエッチャーです。高度なマイクロエッチング技術、リアルタイムイメージングカメラ、統合EBSSの選択により、汚染レベルを最小限に抑えた信頼性の高いエッチング結果が保証され、低温動作モードと自動ウェーハ処理により、効率的で費用対効果の高い処理が可能です。