中古 TEGAL 915 #293811527 を販売中

TEGAL 915は小さいエッチングおよびashing適用のために設計されている高性能エッチャー/asherです。オゾン感受性フィルム、カーボンフィルム、アモルファスシリコンなど、様々な基板の加工に最適です。その堅牢な設計は、信頼性と再現性の高い処理結果を提供します。915は、繰り返し可能で再現性のあるエッチングおよびアッシング処理に3軸リニアモータを使用しています。その機械構造は、精密リニアガイドレールと滑らかで正確なエッチングのためのエアベアリングで構成されています。部屋はステンレス鋼から成り、プロセス大気のよりよい均等性を提供するように設計されています。このチャンバーには、エッチングプロセスを最適化するために、化学者がさまざまなガスをチャンバーに注入することができる自動ガス注入システムも装備されています。このマシンはグラフィカルユーザーインターフェイスを使用して操作され、オペレータはコンピュータからエッチング処理を監視および制御できます。オペレータは、時間、温度、圧力などのエッチングプロセスのパラメータを調整することもできます。TEGAL 915には酸素センサーが搭載されており、最適なプロセスチャンバー雰囲気に対するフィードバックを提供します。また、データロギング、監視、分析のための前処理および後処理PCと接続するための通信インタフェースも備えています。915は、高い反復性と再現性を備えているため、小さなエッチングおよびアッシング用途に最適です。また、ユーザーフレンドリーで使いやすい高度なソフトウェアパッケージが装備されています。さらに、圧力センサ、非常停止、温度モニターなどの安全機能を備えており、オペレータやエッチング処理室を保護します。TEGAL 915は非常に信頼性の高いエッチャー/アッシャーで、最高の精度と再現性で繰り返しエッチングとアッシングプロセスを実行できます。このマシンは、不要なエラーを低減し、スループットを最大化し、プロセス知識を向上させながら、最適なエッチング結果を提供するように設計されています。