中古 TEGAL 915 #293766664 を販売中

TEGAL 915は、TEGAL株式会社が製造する先進的なプラズマエッチャー/アッシャー装置です。これは、高度な薄膜誘電体と電子相互接続のエッチングと蒸着のために特別に設計されています。915は、薄膜回路を大量に生産するための優れたエッチング均一性と高いスループットを提供する高効率、高精度システムです。それは最適なプロセス制御のための単位の容易な取付け、維持および再構成を可能にする革新的なモジュラー設計と設計されています。このマシンはまた、効率的で反復可能なエッチングのためのプログラム可能なプロセスの範囲を提供します。TEGAL 915には、2つの高流量ガスフローコントローラによって供給される高度なエッチングチャンバー設計が装備されており、ユーザーは最適なエッチング結果を得るために流量、圧力、およびガスミックスを迅速に調整することができます。さらに、このチャンバーには自動ガス検出ツールが装備されており、処理条件を正確に制御できます。自動化されたプロセス制御により、優れたプロセス再現性を提供し、エッチング特性を制御します。このモデルは、最先端のプラズマ源を使用して、薄膜誘電体と電子相互接続の信頼性と一貫した均一なエッチングを実現しています。プラズマ源には高性能マイクロ波発電機を搭載し、最適な耐温性と効率的なエッチングプロセスを実現します。これにより、材料が損傷や歪みなく均一にエッチングされます。さらに、915には高度な多面イメージングシステムが搭載されており、エッチング処理の進捗状況を可視化することができます。また、幅広い成膜材料に対応しているため、より複雑で精密な表面を作成することができます。最後に、システムには強力なリモートネットワーキング機能も装備されており、ユーザーはユニットをリアルタイムで監視、制御、更新することができます。TEGAL 915は、優れたプロセスの均一性と薄膜蒸着プロセスの優れた制御を提供する高度で汎用性の高い機械です。その革新的な設計と強力なプラズマソースにより、ユーザーは正確で一貫した結果を得ることができます。さらに、高度なイメージングシステムとリモートネットワーキング機能により、ユーザーはツールをリアルタイムで監視および更新することができ、複雑な電子相互接続の生産に必要な柔軟性と制御を追加できます。