中古 TEGAL 915 #158859 を販売中

TEGAL 915は、半導体製造装置の世界的リーダーであるTEGAL Corporationによって製造されたエッチャー/アッシャーです。このエッチャー/アッシャーは、MEMSおよび半導体製造に使用され、効率的で費用対効果の高い処理によって優れた性能と拡張性を提供するように設計されています。915は、最適化されたシングルチャンバーレイアウトを備えたマルチチャンバーエッチャー/アッシャーです。エッチング/アッシュプロセスを組み合わせることで、同じチャンバー内の基板を同時にエッチング/クリーニングできます。高いスループット能力を持ち、エッチングサイクルごとに最大130個の基板を処理できます。TEGAL 915は、高性能、低消費電力、高密度DCマグネトロンスパッタ装置を搭載し、スループットを向上させるための高度な負荷/アンロード輸送システムを備えています。このエッチング/アッシュプロセスは、高密度プラズマ、プリエッチング、およびポストアッシュプロセスの組み合わせを利用して、優れたエッチング率と優れた結果をもたらします。そのマルチチャンバー設計は、高精度パンチ機能を有効にするために最適化されています。915は、現場で最高レベルの診断機能を備えており、欠陥を自動的に補償し、欠陥を最小限に抑え、プロセスのパフォーマンスを最適化するように設計されています。Virtual Endpointは、最適なプロセス制御と再現性を実現するように設計されています。それはまた部屋の温度の精密な制御のための涼しい部屋を含んでいます。さらに、TEGAL 915には、安全インターロックユニットや化学入力機能など、さまざまな安全機能が搭載されています。その高度なシャッターマシンは、基板がチャンバー内に確実に保持されるまで、基板がプラズマやエッチングにさらされないことを保証します。さらに、915は、複数のレシピストレージや簡単な最適化ツールなど、さまざまなカスタマイズ機能を備えています。ダイナミックインターフェイスとリモートコントロール機能を備え、使いやすく設計されているため、リモート監視やプロセス制御に最適です。TEGAL 915は、効率的で費用対効果の高い処理によって優れた性能と拡張性を提供するように設計されており、今日の半導体生産ニーズに最適です。