中古 TEGAL 905 #163758 を販売中

TEGAL 905は、集積回路（IC）製造におけるドライエッチングおよびアッシングに使用される機器であるエッチャー/アッシャーです。これは、効率的かつ再現可能なエッチングとアッシング処理を可能にするために、マルチプロセスのガス供給装置を使用するツールです。このツールは、設置面積を削減し、クリーンルームのワークスペース効率を最適化するように設計された超小型プラットフォームで、単一の8インチウェハ容量を備えています。905には完全に統合されたプロセスコントローラがあり、ミリ秒レベルの時間分解能で、一貫した再現性のあるプロセスを提供します。最先端のプロセス制御技術により、プラズマ作動時のプロセスパラメータの調整が可能になり、エッチング精度が向上します。ガスデリバリーシステムにより、独立したガス制御が可能となり、エッチング工程ごとに最適なガス配合を選択することができます。TEGAL 905には、プロセス間でウェーハを切り替えるために必要な時間を短縮し、スループットを大幅に向上させる統合ディストリビューションカセットもあります。プログラム可能なカセット位置により、ユーザーはエッチングと灰プロセスのタイミングを調整して生産性と品質を最大化することができます。さらに、このツールのOpto cell検出により、一度に1つのウェーハだけが処理され、汚染が最小限に抑えられます。905には、フェイルセーフオペレーションと最大稼働時間を可能にする高度な安全ユニットも含まれています。その3層の安全機械には、クラス1とクラス2のインターロックツール、圧力に敏感な過圧弁、および圧力に敏感なセラミックバルブが含まれています。任意パージポンプおよび排気システムはまた部屋をきれいに保ち、汚染物の放します利用できます。高度なプロセス制御技術と安全機能を備えたTEGAL 905は、高精度の生産ニーズに最適なツールです。小型で高速な処理速度、および統合されたガス配送資産は、ICメーカーにとって非常に効率的で経済的なソリューションを提供します。