中古 TEGAL 903E #9394684 を販売中

TEGAL 903Eは、高品質の半導体およびフォトマスク装置の製造用に特別に設計された最先端のエッチャー/アッシャーで、広範なエッチング用途で優れた信頼性と性能を発揮します。これは、効率的で信頼性が高く、毎回精密な処理を保証する多くの高度な機能が装備されています。TEGAL 903 Eは、シリコンウェーハ、セラミックス、金属、メガネなど、様々な素材に深い高解像度エッチングが可能です。大きな作業室を持ち、ほこりや粒子を管理するためのアフターバーナーを備えています。903E独自のリニアノズル設計により、均一な幅と深さで機能を作成できる効率的で高品質なエッチングが保証されます。903 Eは自動化され、精密な制御および均一な結果を毎回提供するprecalibratedエッチングのためのプログラム可能な硫酸配達を特色にします。その不活性な雰囲気配達装置は、材料とエチャント間の接触を排除します。これにより、基板表面とのエッチング反応による汚染や損傷のリスクがなくなります。TEGAL 903Eは、エッチングおよびアッシング用途における最高の要件を満たすように地上から設計されており、高速から中程度の処理速度、さまざまなプロセスガスの構成可能な統合、反応性イオンエッチング機能、および裏面エッチングのサポートなどの機能を備えています。高温でもエッチング中の材料の完全性を維持することができ、温度、圧力、流量などのパラメータを正確に制御することができます。TEGAL 903 Eは、直感的なユーザーインターフェイスとエッチングプロセスの品質を確保するための広範な監視機能を備えたオールインワンエッチャー/アッシャーです。複数のセンシングとロケーションメソッドが可能で、複数のビジョンシステムと画像キャプチャを選択できます。このマシンには、基板とエッチング剤の互換性を確保するための自動プロセス制御機能、および望ましくない条件下でエッチャー/アッシャーを停止するための自動プロセスも付属しています。903Eは、250°Cから650°Cまでの動作温度で、二酸化炭素、二酸化硫黄、一酸化窒素などの多種多様な媒体で動作するように設計されています。システムは温度制御が装備されており、最適な状態を維持するためにプロセスを監視します。また、職場での安全を最適化するための高度な安全ユニットを備えています。903 Eは、生産環境と研究環境の両方での使用に適しています。このマシンは簡単なメンテナンスのために設計されており、エンベデッドマシンからの洞察を得て、モニタリングとトラブルシューティングを行うことができます。このエッチャー/アッシャーには、収集されたデータの完全性を確保し、プロセスの安全性を確保するために、多くの洗練されたプロトコルとセーフガードが装備されています。TEGAL 903Eは、エッチングおよびアッシング用途に理想的なソリューションであり、卓越した信頼性と精度をオールインワンソリューションで提供します。その複数の機能と高度な安全ツールは、さまざまな基板材料の一貫した、高品質の結果を保証します。