中古 TEGAL 903E #9269138 を販売中

TEGAL 903Eは、高度なプラズマエッチャー/アッシャーです。複数のレイヤーやサーフェスにカットやパターンを作成するために使用される高度なリアクティブエッチャー/アッシャーです。さらに、TEGAL 903 Eは、非常に効率的なエッチャー/アッシャーであり、カット間の超短距離を提供することができ、非常に正確なエッチングとパターニングを可能にします。903Eを使用する場合、反応室は適切なガス混合物で満たされます-通常、四フッ化炭素または酸素を含む低圧反応ガス。チャンバーが充填され、圧力が調整されると、エッチャー/アッシャーがオンになり、反応ガスがエッチングチャンバーに導入されます。このとき、試料表面に制御されたイオン濃度が噴射されるため、極めて精密なエッチングとパターニングが可能です。エッチング時間はユーザーの要求を満たすために変更することができ、イオン濃度は異なるエッチング特性のために変化することができます。サンプルは蛍光灯にさらされ、プラズマを介したエッチング反応を開始します。この過程でイオンはサンプル材料と反応し、素早くサンプル表面から材料を取り除きます。このプロセスは、所望のパターンが達成されるまで、エッチングサイクル全体で繰り返されます。エッチング処理は、正確で繰り返し可能なエッチング特性を確保するために、コンピュータソフトウェアインターフェイスによって制御されます。903 Eは、高性能機能を維持するため、エッチングチャンバー内に高温ヒータープレートを搭載して設計されています。これにより、エッチャー/アッシャーが最適な温度範囲を維持し、ガスが反応状態のままであることが保証されます。さらに、TEGAL 903Eは水平方向のコントロールアームも使用しており、反応イオンとサンプルを正確かつ個別に制御することができます。TEGAL 903 Eは多目的で高性能なエッチャー/アッシャーで、さまざまな表面に精密で複雑なパターンを作成できます。その機能は、ユーザーに複雑なエッチングを作成するための信頼性が高く、一貫性があり、費用対効果の高い方法を提供します。