中古 TEGAL 903E #9265524 を販売中

TEGAL 903E Asherは、高密度回路板エッチング、接触処理、フルダイパターン加工など、さまざまな用途に使用される強力なエッチングおよびアッシング装置です。比類のないパフォーマンスを提供するTEGAL 903 Eには、ユーザーに最高の結果を提供する幅広い機能と機能が含まれています。903Eは、最先端のプロセス技術における最も困難な課題に対応するように設計されています。革新的で高速なエッチングとアッシングプロセスを提供し、非常に信頼性が高く、非常に小さな機能サイズの機能を提供します。903 Eに非常に多目的な操作を可能にし、最も堅い指定の必要性を満たすシステム操作変数の広範な範囲があります。エッチングに関しては、湿式乾式プラズマ、エレクトロケミカル、RIE（リアクティブイオンエッチング）など、幅広いエッチング技術を提供して903Eます。さらに、このマシンには、エッチパラメータ設定、ガスレシピ、プロセスシーケンス制御、レシピ管理、コンタクトレイヤーをエッチングする機能など、ユーザーが選択できる機能が組み込まれています。また、イオンビームエッチング、ハイレートエッチング、拡張レンジエッチングなどの高度な機能や、バッチ処理用の自動負荷/アンロードマシンも搭載しています。アッシングに関しては、TEGAL 903 Eはまた、プロセスを最適化するための幅広いアッシング技術とユーザーが選択可能なアッシングパラメータを提供します。このツールには、電子ビームashing、 アクアHF （hydrofluoric） ashing、ペーストバックashing、選択的スパッターエッチングashingなどの高度なアッシング技術が含まれています。さらに、903Eは組み込みのレシピ管理、濾過資産、ガス規制、圧力制御など、最高レベルのプロセス制御を提供します。要約すると、903 Eは最先端のエッチングおよびアッシングプロセス技術だけでなく、非常に高度な機能と機能を提供します。非常に信頼性の高いモデルで、エッチングおよびアッシングの幅広い用途に適しています。TEGAL 903Eは、幅広い機器パラメータとユーザーが選択可能な機能を備えており、高度なエッチングおよびアッシングプロセスに最適なシステムです。