中古 TEGAL 903E #9181763 を販売中

TEGAL 903Eは、半導体製造プロセス向けに設計された、完全に自動化されたハイスループットエッチャー/アッシャーです。225mm×225mm×6。5mmのワークチャンバーと10°C〜100°Cの動作温度範囲を備えた効率的なエッチャー/アッシャーは、比類のない均一性と精度を提供します。さまざまなオプションで構成されたTEGAL 903 Eは、優れたパフォーマンスを提供しつつ、幅広い処理ニーズに対応する柔軟性を提供します。堅牢で信頼性の高い903Eは、金属、合金、ポリマー、およびその他の材料を含むさまざまな材料を処理でき、エッチング時間は45秒未満です。精密セラミックボートチャックは、優れた材料ウェハ接触と均一性を保証します。903 Eは、3つの異なるエッチングプロセスを提供し、陽極FET、エピタキシャル層、および薄膜デバイスを正確に生成できます。完了すると、ウェーハは自動的に洗浄され乾燥され、システムはすぐに次のバッチに移動することができます。Siemens&TTEソフトウェアを搭載したTEGAL 903Eは、専用の技術者を必要とせずに使いやすく構成できます。ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスは、正確さと精度を確保するのに役立ちます。一方、ライトカーテンやインターロックなどの安全機能は、オペレータに余分な保護層を提供します。このシステムには、プロセスレシピの包括的なライブラリも付属しており、ユーザーは手間をかけずにエッチングプロセスを素早く簡単にカスタマイズできます。また、TEGAL 903 Eは、1ミクロン以下の解像度で高解像度、高品質の画像を表示および画像化することができます。内蔵のプログラム可能なビジョンシステムは、ステージの動き、温度、真空レベル、および正確なエッチングのためのその他の重要なパラメータを制御するように設計されています。さらなる利便性のために、903Eは製造環境の他のシステムやコントローラと統合することができます。903 Eは卓越した結果を提供し、ユーザーが最小限の労力で品質の出力を達成するのを助けます。堅牢なビルド、優れた性能、ユーザーフレンドリーなUIにより、精密部品や集積回路を迅速かつ正確に作成することを求めるメーカーや生産設備にとって理想的なマシンです。