中古 TEGAL 903E #9113440 を販売中

TEGAL 903Eは、高スループット、大容量の高度なパッケージングアプリケーションの要求に応えるように設計されたダイオードポンプ式ソリッドステート（DPSS）エッチャー装置です。このエッチャーには、反復可能で信頼性の高いパフォーマンスを保証する革新的な機能と技術が装備されています。TEGAL 903 Eは、精度や再現性を損なうことなく、迅速なサーマルサイクリングと高速エッチングを提供するように設計されています。このシステムは、FR-4、 FR-5、ポリイミド、RF材料、石英、プラスチック、金属など、さまざまな基材をエッチングすることができます。3D微細加工、プラスチックや硬質基板の金属化にも使用できます。903Eは、高いエッチング精度と再現性、そして高いスループプットを実現することを可能にする、特許取得済みの導波路設計を備えています。単位は250KWの標準的な最高の平均力との50KWまでのピーク電力を、達成できます。さらに、903 Eは、ステップ波、チャープ波、可変電力波形など、さまざまな波形形式をサポートするのに十分な柔軟性があります。チャンバーサイズの拡大と浅いプロファイルを備えており、コンパクトなフットプリントで高スループット処理が可能です。さらに柔軟性と性能を高めるために、チャンバーは開閉式または密閉式のデッキで構成でき、マルチバリューセンサーや急速クールダウンジェットなどの追加の統合コンポーネントを使用できます。TEGAL ETch Tool （TES）ソフトウェアにより、追加のプログラマビリティを強化することもできます。さらに、TEGAL 903Eのユーザーフレンドリーな設計により、簡単な操作、メンテナンス、校正が可能です。アセットには専用のグラフィカルユーザーインターフェイスがあり、ステップバイステップメニューとリアルタイムの表示と設定モードが含まれます。また、GUIはエッチングプロセスに関するフィードバックを提供し、故障した場合の迅速な診断を可能にします。TEGAL 903 Eは、革新的な統合技術スイートによって保証された高効率、再現性、および精度のために設計されています。ウエハボンディング、マイクロ波回路包装、ナノ加工、3D統合、MEM製造などの高度なパッケージングアプリケーションに最適なツールです。