中古 TEGAL 903E #9004065 を販売中

TEGAL 903Eは、サブミクロンフォトリソグラフィの製造用に特別に設計されたエッチング装置です。6インチのウェーハ容量とフルスイートの機能を備えたTEGAL 903 Eは、高度なリソグラフィ要件に最適です。903Eは、高解像度の画像形成システムと専用の高精度XYステージを備えた堅牢なモジュラー設計を特徴としています。XYステージはウェーハを離散ステップで移動させ、フォトマスク、グレースケールマスク、および任意の複雑さの配列の高精度エッチングを可能にします。903 Eは、シリコン、クロム、タングステン、金などのさまざまなメディア、および負のフォトレジストに使用されるフォトポリマーでエッチングすることができます。プロセスは、所望の構造の特定の層の厚さと結晶方向に調整することができます。さらに、このユニットは、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）のような多くのプラズマベースのプロセスを含むように構成することができます。TEGAL 903Eには、強力なデータ分析および操作ツールが装備されています。これにより、ユーザーはリアルタイムでエッチング結果を比較することができ、カスタム製造手順の開発をサポートします。多種多様な画像をリアルタイムでモニター上に表示することができ、パターンの向きや再現性の精密な調整が容易に行えます。TEGAL 903 Eは信頼性が高く、25 ppmの処理速度とメンテナンスの必要性を最小限に抑えています。これは、ユーザーとマシンの両方のための安全性の最高の程度を確保するために、安全インターロックツールと環境監視機能が装備されています。最後に、903Eにはユーザーフレンドリーなソフトウェアが付属しており、ユーザーに資産の機能を直感的に制御することができます。幅広い機能を備えた903 Eは、高度なリソグラフィ用途に最適です。