中古 TEGAL 903E #33638 を販売中

TEGAL 903Eは、シリコン、サファイア、窒化ケイ素、酸化ケイ素など、さまざまな材料や基板に薄膜を正確かつ効率的にエッチング、加工、堆積させるために設計されたアッシャー/エッチャー装置です。エッチングと加工プロセスの第一段階は、基板前処理です。これは、4つの洗浄溶剤とフィルターを使用してエッチング前に基板から汚染物質を除去するプレウェットステーションによって行われます。その後、基板をホットプレートにロードして予熱します。TEGAL 903 Eには、薄膜パターンをエッチングするためのEビームと呼ばれる超線形エッチソースがあります。このソースは、基板の非常に異方性エッチングを生成し、重要な特徴サイズと電気特性を維持します。903Eは独自のLLA™ Sourceツールを使用して、基板に薄膜を堆積させ、接着剤で接着します。この成膜プロセスは、完成品の均一で一貫した品質を保証します。エッチング/蒸着プロセスは、フィルム蒸着の均一性を最適化するクローズドループ制御システムです。最高レベルの精度を提供しながら、時間、速度、圧力などのパラメータをリアルタイムで制御することができます。903 Eにはさまざまな安全機能が付属しており、労働者を怪我から守るように設計されています。制御装置は、過負荷や過熱を防ぐための安全遮断機構を採用しています。このマシンには、内蔵の火災警報機が付属しており、防爆エンクロージャが装備されています。TEGAL 903Eは、様々な基板や薄膜のエッチングと加工を効率的かつ信頼性の高い機械です。クローズドループ制御ツールは、再現性と正確に制御されたエッチング/蒸着プロセスを可能にし、安全機能はオペレータに最高レベルの保護を提供します。