中古 TEGAL 903E #293828284 を販売中

TEGAL 903Eは半導体製造業界の高性能エッチャー/アッシャーです。大容量プロセスチャンバーと低圧エッチング機能により、精密な寸法と高い歩留まりを持つ半導体部品の製造に最適です。TEGAL 903 Eは、印象的な25 4 「x 6」エッチングボードを備えています。これは、チャンバーにロードして素早く簡単に固定でき、時間と効率を向上させることができます。ボードは密閉された洗浄室で保護され、クリーンで一貫した環境を提供し、高品質の最終製品を保証します。エッチャーの主なプロセスチャンバーは、エッチング精度を向上させるための低圧環境を備えた加熱石英真空チャンバーで構成されています。プラズマ密度を最大化することにより、エッチング処理が高速化されるため、より高い歩留まりと、より短いサイクル時間で高精度の部品が得られます。903Eは他にも多くの注目すべき機能を提供しています。ウェーハ表面の均一でクリーンなエッチングを可能にする高度な静電焦点を備えています。これにより、従来のエッチング技術でイオンが散乱する可能性を排除し、903 Eは標準に妥協することなくより高い収率を提供することができます。また、TEGAL 903Eには高解像度のデジタル化検出システムが搭載されており、エッチング処理を正確に監視し、最適な安全性と性能を確保しています。TEGAL 903 Eは、ニッケル-アモルファスシリコン（Ni-Si）を主なスパッタ電源として構成されており、基板の均一なエッチングを保証します。この機能により、高熱と電流密度を許容できる高性能、高精度、高効率な部品の製造を可能にするため、ウエハーの極めて複雑なプロセスでのドライエッチングに最適です。903Eエッチャーは、自動化されたデジタル制御オープンプロセスバリアントを可能にする最新のプロセスソフトウェアによってサポートされています。この機能により、システムは生産においてより信頼性が高く、効率的で費用対効果が高く、信頼性が高く高品質の最終製品になります。結論として、903 Eは半導体製造業界にとって強力で信頼性が高く効率的なエッチャーです。その低圧密閉洗浄チャンバーは、クリーンで均一なエッチングを保証し、25の4 「x 6」ボードと高度な静電フォーカシングにより、廃棄物を最小限に抑えた高精度の部品を生産します。自動化されたプロセス制御、Ni-Siスパッタパワー、最新のプロセスソフトウェアにより、TEGAL 903Eは最高レベルの品質、パフォーマンス、歩留まりを提供し、優れたコスト効率を実現します。