中古 TEGAL 903E #293828281 を販売中

TEGAL 903Eエッチャー/アッシャーは、半導体デバイスの製造に高いスループットと品質のエッチングとアッシングを提供する高度な統合ウエハエッチングおよびアッシング装置です。一工程でほぼ全ての材料を均一な深さに高速エッチングすることができます。TEGAL 903 Eは、集積回路（IC）製造の要求に応えるために、最高の効率と信頼性を念頭に設計されています。903Eは、高度なガス供給メカニズムを使用して、エッチングとアッシングの両方のプロセス段階で均一で最適な反応条件を達成します。エッチング段階では、異なる圧力でプロセスガスを選択し、反応温度とエッチングの均一性を正確に制御できます。ガスフロー、ガス圧力、温度を精密に制御できる新しいガスコントロールユニットを搭載し、高性能エッチングを実現しています。さらに、ウェーハ交換を迅速化し、ウェーハ層のマッチングを強化するための高度なマルチポイントエッチヘッド設計を備えています。903 Eのアッシング段階は、蒸着速度、均一性、および全蒸着を正確に制御するように設計されています。このプロセスは、高度なアルゴン酸素混合物によって駆動され、特殊な前駆体の必要性を排除し、最適な品質のブラスト表面を達成します。このプロセスは、ブランケットとプリパターンされたウェーハの両方で使用できます。また、アッシング時間を最小限に抑え、エッチング残留物を完全に除去するために使用される冷却ボトムも含まれています。TEGAL 903Eは、さまざまな安全機能とツール操作検出機能を備えており、最も安全で信頼性の高いシステムの1つです。高度な運用監視システムを備えており、資産データやプロセスデータを継続的に監視するだけでなく、環境やプロセスパラメータの異常を検出し、有害な影響が発生する前に直ちに対処して修正することができます。TEGAL 903 Eに組み込まれた先進的な設計と技術は、卓越したエッチングとアッシング性能を提供する、半導体業界に不可欠なツールです。環境負荷の少ない性能、信頼性、均一性を必要とする方に最適です。